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OKUMA大隈解決方案 半導(dǎo)體制造業(yè)

點(diǎn)擊次數(shù):148  更新時(shí)間:2025-03-28

半導(dǎo)體制造業(yè)

隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、汽車等各個(gè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步,全球?qū)Π雽?dǎo)體

的需求與日俱增。制造這些半導(dǎo)體的半導(dǎo)體制造設(shè)備中使用的零部件

形狀千差萬別,并且要求高精度和表面質(zhì)量。經(jīng)常需要切割鋁材、使

用難以加工的脆性材料,需要高品質(zhì)的機(jī)械加工。

OKUMA擁有滿足這些需求的先進(jìn)的加工機(jī),并針對(duì)各工件提出了優(yōu)異

的加工技術(shù)以及解決方案。

OKUMA大隈解決方案  半導(dǎo)體制造業(yè)

密封件

蝕刻設(shè)備等半導(dǎo)體制造設(shè)備零部件

材質(zhì):A5083

使用車削功能進(jìn)行高質(zhì)量面加工


通過動(dòng)態(tài)傾斜車削實(shí)現(xiàn)高效車削加工

在保持刀尖角度一定的條件下,旋轉(zhuǎn)傾斜軸(A軸)進(jìn)行車削

·還可以在避免工件與刀具干涉的同時(shí)加工內(nèi)徑底切

·通過用同一刀具加工內(nèi)徑底切部,消除接合面的高低差,實(shí)現(xiàn)提高加

工面質(zhì)量

OKUMA大隈解決方案  半導(dǎo)體制造業(yè)

自動(dòng)托板交換(APC)實(shí)現(xiàn)工序整合

通過APC實(shí)現(xiàn)省人化和高效的工件交換

·需要正反面等多工序加工的工件一臺(tái)機(jī)床即可完成

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實(shí)現(xiàn)該處理的產(chǎn)品MU-8000V 5軸控制立式加工中心

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  • 空間精度的革新

  • 具有高剛性的耳軸工作臺(tái),支撐著高精度5軸加工

  • 依靠5軸加工的高隨動(dòng)性,實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的加工表面

    ●兩端支撐的高剛性耳軸工作臺(tái)

    ●依靠滾珠絲杠的冷卻裝置(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格),在確保高精度的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高隨動(dòng)性

    實(shí)現(xiàn)高精度5軸加工的分度精度(MU-5000V 實(shí)測值)

    ●分度精度

    ●高速動(dòng)作

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    • ?A軸/C軸 90°夾緊/放松分度時(shí)間: 1.0秒/1.2秒

    • ?A軸分度精度/分度復(fù)位精度: ±0.68秒/±0.40秒

    • ?C軸分度精度/分度復(fù)位精度: ±0.78秒/±0.14秒


  • 擅長切削的5軸加工機(jī)

  • 突破5軸加工機(jī)的極限
    以令人驚嘆的加工能力完成高效率加工

  • MU-5000V、MU-6300V 實(shí)測值([ ]:MU-6300V時(shí))

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    • 主軸轉(zhuǎn)速:895min-1

    • 切削速度:225m/min

    • 進(jìn)給速度:2,250mm/min

    • 切削寬度×切深:56×4mm

    • 面銑加工能力:504cm3/min(S45C)

    • ●?80面銑刀 8刃(涂層)

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    • 主軸轉(zhuǎn)速:4,000min-1

    • 切削速度:251m/min

    • 進(jìn)給速度:4,800mm/min[2,800mm/min]

    • 切削寬度×切深:7×20mm[12×20mm]

    • 立銑加工能力:672cm3/min(S45C)

    • ●?20粗加工立銑刀 7刃(硬質(zhì)合金)

  • 可與車床媲美的車削能力實(shí)現(xiàn)工序集約

  • 車削加工能力:3mm2(S45C)


    • 加工直徑:?164mm[?250mm]

    • 切削速度:130m/min (工作臺(tái)轉(zhuǎn)速:252min-1

    • 進(jìn)給速度:0.6mm/rev

    • 切深:5mm

    ※登載的數(shù)據(jù)為實(shí)績值,由于規(guī)格、刀具、加工條件等的不同,所得數(shù)據(jù)可能與登載的數(shù)據(jù)不同。

OKUMA大隈解決方案  半導(dǎo)體制造業(yè)
  • 5軸加工追求的良好的能見性和可操作性

  • 到達(dá)加工區(qū)域非常方便


    • OKUMA大隈解決方案  半導(dǎo)體制造業(yè)
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    • 更換工裝、加工時(shí)易于確認(rèn)刀尖的機(jī)床結(jié)構(gòu)

      ●考慮作業(yè)性的工作臺(tái)、主軸、操作面板的優(yōu)化布局

    • 便于作業(yè)的腳踏臺(tái)

      ●無需在意腳下的寬大腳踏臺(tái)可消除作業(yè)緊張狀態(tài)

    • 加工室內(nèi)可視性良好的大型窗



  • 確保寬大的加工范圍,
    在耳軸處于分度狀態(tài)下?lián)Q刀

  • 工作臺(tái)呈各種角度傾斜狀態(tài)下,刀具也可到達(dá)工件端,可進(jìn)行廣范圍的5軸加工。由于可在耳軸處于分度狀態(tài)下進(jìn)行換刀,因此可實(shí)現(xiàn)循環(huán)時(shí)間的削減及加工精度的提高。

  • OKUMA大隈解決方案  半導(dǎo)體制造業(yè)




TEL:13616261754

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